中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范

Codefordesignofprotectionofelectrostaticdischargeinelectronicengineering

GB50611-2010

主編部門：中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部

批準(zhǔn)部門：中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

施行日期：2011年2月1日

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告

第672號(hào)

關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》的公告

現(xiàn)批準(zhǔn)《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，編號(hào)為GB50611-2010，自2011年2月1日起實(shí)施。其中，第9.0.4(2、4)條(款)為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)行。

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

二〇一〇年七月十五日

前言

本規(guī)范是根據(jù)原建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)<2005年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計(jì)劃(第二批)>的通知》(建標(biāo)函〔2005〕124號(hào))的要求，由上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司會(huì)同中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院、信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院有限公司等單位共同編制而成。

本規(guī)范在編制過(guò)程中，編制組遵照國(guó)家有關(guān)基本建設(shè)的方針政策和“以人為本”、“安全第一、預(yù)防為主”的指導(dǎo)方針，在總結(jié)多年來(lái)國(guó)內(nèi)的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，吸收近年來(lái)的科研成果，借鑒符合我國(guó)國(guó)情的國(guó)際先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)上，廣泛征求國(guó)內(nèi)有關(guān)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、研究等單位的意見(jiàn)，并反復(fù)修改，最后經(jīng)審查定稿。

本規(guī)范共分9章和1個(gè)附錄，主要內(nèi)容包括：總則，術(shù)語(yǔ)，防靜電材料及制品的基本要求和設(shè)計(jì)選擇，防靜電工作區(qū)室內(nèi)裝飾設(shè)計(jì)，防靜電工作區(qū)電氣設(shè)計(jì)，防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)，防靜電工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)和工業(yè)管道設(shè)計(jì)，防靜電安全工作臺(tái)的設(shè)計(jì)選擇，離子化靜電消除器的設(shè)計(jì)選擇等。

本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，由上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過(guò)程中，請(qǐng)各單位結(jié)合工程實(shí)踐，認(rèn)真總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，如發(fā)現(xiàn)需要修改或補(bǔ)充之處，請(qǐng)將意見(jiàn)和建議寄至上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》管理組(地址：上海市麗園路478號(hào)，郵政編碼：200023，E-mail：seedri@seedri.com.cn)，以供今后修訂時(shí)參考。

以下規(guī)范內(nèi)容由合景凈化工程公司http://www.xiuxiudongman.com/進(jìn)行整理編輯

1總則

1.0.1為適應(yīng)電子工程室內(nèi)防靜電設(shè)計(jì)的要求，規(guī)范電子工業(yè)建設(shè)工程防靜電工作區(qū)的設(shè)計(jì)、治理的措施和實(shí)施方法，制定本規(guī)范。

1.0.2本規(guī)范適用于電子工業(yè)領(lǐng)域的新建、擴(kuò)建和改建工程中室內(nèi)防靜電設(shè)計(jì)。

1.0.3防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)應(yīng)遵循下列原則：

1應(yīng)根據(jù)工藝配置的技術(shù)要求，預(yù)估工作區(qū)靜電控制的期望目標(biāo)，確定靜電電位控制的目標(biāo)值。

2應(yīng)根據(jù)防靜電工作區(qū)構(gòu)成因素和不同的防靜電工作區(qū)使用要求，選擇經(jīng)濟(jì)和有效的設(shè)計(jì)方案。

3應(yīng)根據(jù)防靜電工作區(qū)質(zhì)量控制要素，采取對(duì)應(yīng)的預(yù)防措施，進(jìn)行系統(tǒng)綜合設(shè)計(jì)。

1.0.4防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)應(yīng)選用靜電耗散型或?qū)ъo電型材料，并應(yīng)建立可靠的靜電接地系統(tǒng)，同時(shí)應(yīng)控制環(huán)境溫濕度。

1.0.5防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)分為三級(jí)，一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)為室內(nèi)控制靜電電位絕對(duì)值不大于100V;二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)為室內(nèi)控制靜電電位絕對(duì)值不大于200V;三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)為室內(nèi)控制靜電電位絕對(duì)值不大于1000V。

防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)適用場(chǎng)所可按本規(guī)范附錄A確定。

1.0.6電子工業(yè)領(lǐng)域的防靜電設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

2術(shù)語(yǔ)

2.0.1靜電electrostatic

一種處于相對(duì)穩(wěn)定狀態(tài)但不是靜止不動(dòng)的電荷，由它所引起的磁場(chǎng)效應(yīng)較之電場(chǎng)效應(yīng)可以忽略不計(jì)?？捎晌镔|(zhì)的接觸與分離、介質(zhì)極化和帶電微粒的附著等物理過(guò)程而產(chǎn)生。

2.0.2靜電放電(ESD)electrostaticdischarge

當(dāng)帶靜電物體表面的場(chǎng)強(qiáng)超過(guò)周圍介質(zhì)的絕緣擊穿場(chǎng)強(qiáng)時(shí)，因介質(zhì)電離而使帶電體上的電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。

2.0.3靜電危害electrostaticharm

因靜電放電產(chǎn)生的電磁輻射或靜電感應(yīng)而對(duì)電子元器件及儀器產(chǎn)生的有害影響。

2.0.4電暈放電coronadischarge

發(fā)生電場(chǎng)不均勻的，場(chǎng)強(qiáng)較高的電離放電現(xiàn)象，并伴有藍(lán)紫色熒光。

2.0.5室內(nèi)靜電電位innerelectrostaticpotential

在設(shè)定的區(qū)域環(huán)境內(nèi)，任一物體對(duì)地的靜電電位差。

2.0.6靜電放電敏感(ESDS)electrostaticdischargesensitive

產(chǎn)品性能受靜電放電影響或損壞的敏感性，簡(jiǎn)稱靜電敏感。

2.0.7靜電噪聲electrostaticnoise

由于靜電放電產(chǎn)生的電磁波輻射對(duì)電子裝置、通信設(shè)施等產(chǎn)生的電磁干擾。

2.0.8防靜電工作區(qū)(EPA)electrostaticdischargeprotectedarea

配備各種防靜電設(shè)備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界、適于從事靜電防護(hù)操作的特定工作環(huán)境。

2.0.9防靜電工作區(qū)質(zhì)量控制要素qualitycontrolelementsinelectrostaticdischargeprotectedarea

決定室內(nèi)靜電電位控制效果的主要環(huán)境因素。包括材料和構(gòu)造形式、氣候和環(huán)境條件、接地、器材和器具的靜電性能、工藝流程、技術(shù)管理制度等。

2.0.10靜電感應(yīng)electrostaticinduction

在靜電場(chǎng)影響下引起物體上的電荷重新分布的現(xiàn)象。

2.0.11靜電泄漏electrostaticleakage

帶電體上的電荷通過(guò)其內(nèi)部或表面等途徑使之部分或全部消失的現(xiàn)象。亦稱靜電泄放。

2.0.12屏蔽shielding

把帶電體或非帶電體置于接地的封閉或近乎封閉的金屬外殼或金屬柵網(wǎng)內(nèi)，限制靜電場(chǎng)穿過(guò)的措施。

2.0.13表面電阻surfaceresistance

在與材料同一表面上相接觸的兩個(gè)規(guī)定形狀的電極間施加的直流電壓與流過(guò)兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。

2.0.14體積電阻volumeresistance

在材料相對(duì)兩表面上放置的兩個(gè)規(guī)定形狀的電極間施加的直流電壓與流過(guò)兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。

2.0.15表面電阻率surfaceresistivity

沿試樣表面電流方向的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與單位長(zhǎng)度的表面?zhèn)鲗?dǎo)電流線密度之比。

2.0.16體積電阻率volumeresistivity

沿試樣體積電流方向的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與該處的電流面密度之比。

2.0.17對(duì)地電阻resistancetoearth

在被測(cè)物體表面一點(diǎn)對(duì)接地連接點(diǎn)或防靜電接地裝置之間的電阻。

2.0.18靜電半衰期electrostatichalf-life

外界作用撤除后，帶電體上靜電電壓或靜電電荷下降到其初始值的一半時(shí)所需的時(shí)間。

2.0.19靜電衰減期electrostaticdecaytime

外界作用撤除后，帶電體上靜電電壓或靜電電荷下降到其初始值的10%時(shí)所需的時(shí)間。

2.0.20摩擦起電電壓triboelectricvoltage

用摩擦方法使物體帶電的表面對(duì)地電位差。

2.0.21接地grounding

電氣連接到能供給或接受大量電荷的大地、艦船或運(yùn)載工具外殼等物體的措施。

2.0.22靜電接地electrostaticgrounding

將金屬導(dǎo)體通過(guò)接地極與大地進(jìn)行電氣上的連接，將靜電電荷安全傳導(dǎo)到地的措施。

2.0.23間接接地indirectgrounding

為使非金屬物體進(jìn)行靜電接地，將其表面的全部或局部與接地的金屬體緊密接觸的一種接地方式。

2.0.24軟接地softgrounding

通過(guò)足夠阻抗接地，把電流限制在5mA的人身安全電流以下。

2.0.25靜電放電接地系統(tǒng)ESDgroundingsystem

使靜電泄放到大地而配置的接地線分支系統(tǒng)。亦稱ESD接地系統(tǒng)、防靜電接地系統(tǒng)。

2.0.26接地連接點(diǎn)earthbondingpoint

接地對(duì)象上的一個(gè)專用點(diǎn)，此點(diǎn)應(yīng)被一根接地引線引接到接地線配置系統(tǒng)。

2.0.27防靜電接地電阻electrostaticgroundingresistance

從防靜電對(duì)象接地連接點(diǎn)至接地體，包括接地支線、接地干線和接地體電阻的總和。

2.0.28防靜電安全工作臺(tái)antistaticcontrolworktable

供靜電敏感元器件、組件及設(shè)備操作的具有靜電泄放功能的安全工作臺(tái)架。

2.0.29靜電中和electrostaticdissipation

帶電體上的電荷與其內(nèi)部或外部異性電荷的結(jié)合而使所帶靜電電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。

2.0.30離子化靜電消除器ionizingstaticeliminator

利用空氣電離產(chǎn)生為中和帶電體上的表面異性電荷所必需的正負(fù)離子的靜電消除裝置的統(tǒng)稱。

3防靜電材料及制品的基本要求和設(shè)計(jì)選擇

3.1防靜電材料及制品的基本要求

3.1.1防靜電工作區(qū)采用的防靜電工程材料應(yīng)符合下列規(guī)定：

1靜電屏蔽材料應(yīng)采用表面電阻或體積電阻小于1.0×103Ω的材料。

2導(dǎo)靜電材料應(yīng)采用表面電阻或體積電阻為2.5×104Ω～1.0×106Ω(不含1.0×106Ω)的材料。

3靜電耗散材料應(yīng)采用表面電阻或體積電阻為1.0×106Ω～1.0×109Ω的材料。

4低起電材料應(yīng)采用其表面上滾動(dòng)摩擦后的帶電電壓絕對(duì)值不大于2000V的材料。

5絕緣材料應(yīng)采用表面電阻或體積電阻大于1.0×1012Ω的材料。絕緣材料在防靜電工程中不得作為飾面材料應(yīng)用。

3.1.2由幾部分材料組合的防靜電制品，其內(nèi)部構(gòu)造應(yīng)具有導(dǎo)靜電泄放的功能。其防靜電性能應(yīng)由制品的表面電阻、對(duì)地電阻和摩擦起電電位等參數(shù)確定。

3.1.3防靜電材料應(yīng)有長(zhǎng)效型和短效型的區(qū)別。長(zhǎng)效型防靜電材料其防靜電性能應(yīng)與材料壽命同步，在使用期限內(nèi)防靜電性能應(yīng)保持穩(wěn)定。

3.1.4防靜電材料及制品的其他各項(xiàng)性能尚應(yīng)符合國(guó)家和行業(yè)現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

3.2防靜電材料及制品的設(shè)計(jì)選擇

3.2.1室內(nèi)防靜電工作區(qū)應(yīng)根據(jù)設(shè)計(jì)分級(jí)，選用不同性能的防靜電材料及制品，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1一級(jí)防靜電工作區(qū)的地面和墻面、柱面應(yīng)選用導(dǎo)靜電材料。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面應(yīng)滿足下列技術(shù)指標(biāo)：

(1)表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為2.5×104Ω～1.0×106Ω;

(2)摩擦起電電壓絕對(duì)值不應(yīng)大于100V;

3)靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s。

2二級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚和門表面、軟簾應(yīng)選用靜電耗散材料。靜電耗散型地面、墻面、柱面、頂棚和門表面應(yīng)滿足下列技術(shù)指標(biāo)：

(1)表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為1.0×106Ω～1.0×109Ω;

(2)摩擦起電電壓絕對(duì)值不應(yīng)大于200V;

(3)靜電半衰期不應(yīng)大于1s，但軟簾的摩擦起電電壓絕對(duì)值可不大于300V。

3三級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面視工藝技術(shù)要求可選用靜電耗散材料或低起電材料。頂棚和門表面等可選用低起電材料。選用靜電耗散材料的地面、墻面和柱面，應(yīng)滿足本條第2款的技術(shù)指標(biāo);選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚和門表面等，應(yīng)滿足摩擦起電電壓絕對(duì)值不大于1000V的要求。

3.2.2防靜電工作區(qū)室內(nèi)設(shè)計(jì)不得選用短效型防靜電材料及制品。

4防靜電工作區(qū)室內(nèi)裝飾設(shè)計(jì)

4.1地面設(shè)計(jì)

4.1.1室內(nèi)防靜電地面設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1應(yīng)根據(jù)不同的基礎(chǔ)條件及防靜電目標(biāo)合理選擇地面種類，可選用貼面地面、活動(dòng)地板、涂覆自流平地面、水磨石地面及移動(dòng)式地墊等。

2應(yīng)具有長(zhǎng)效和穩(wěn)定的導(dǎo)靜電性能。

3應(yīng)具有可靠的靜電泄放接地系統(tǒng)。地面導(dǎo)電層接地引出點(diǎn)不應(yīng)少于2處，且相鄰間距不應(yīng)大于25m。

4.1.2貼面地面應(yīng)符合下列規(guī)定：

1應(yīng)合理選擇貼面地面的材質(zhì)和形式?？蛇x用塑料貼面(塊、磚、卷材)、陶瓷地磚、大理石板等。

2貼面地面的結(jié)構(gòu)宜由基礎(chǔ)地坪、底涂、導(dǎo)電層、面層組成。

3貼面地面的結(jié)構(gòu)應(yīng)符合下列規(guī)定：

(1)基礎(chǔ)地坪應(yīng)滿足含水率不大于8%，混凝土強(qiáng)度等級(jí)不小于C30，表面平整度不大于2mm的要求;

(2)底涂宜滿足封底、粘結(jié)橋、絕緣隔離層的要求;

(3)導(dǎo)電層應(yīng)鋪設(shè)接地金屬箔帶網(wǎng)格，并用導(dǎo)電粘膠與上鋪面層粘結(jié)，導(dǎo)電粘膠的電阻值應(yīng)小于面層材料的電阻值;

(4)面層應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.1條的規(guī)定。

4接地金屬箔帶網(wǎng)格宜選用寬10mm～20mm、厚0.03mm～0.10mm的紫銅箔帶，網(wǎng)格大小可為600mm×600mm，當(dāng)貼面地面為卷材時(shí)，網(wǎng)格可為1200mm×1200mm;網(wǎng)格引出銅箔帶應(yīng)與室內(nèi)接地干線焊接;網(wǎng)格交叉點(diǎn)應(yīng)錫焊或用導(dǎo)電粘結(jié)劑粘結(jié)。

4.1.3活動(dòng)地板應(yīng)符合下列規(guī)定：

1應(yīng)合理選擇活動(dòng)地板的材質(zhì)和支撐方式?；顒?dòng)地板按支撐方式可分為四周支撐式活動(dòng)地板和四角支撐式活動(dòng)地板。四周支撐式活動(dòng)地板可由地板、可調(diào)支撐、橫梁、緩沖墊等組成;四角支撐式活動(dòng)地板可由地板、可調(diào)支撐和緩沖墊等組成。

2活動(dòng)地板的防靜電貼面板應(yīng)選用導(dǎo)靜電型、靜電耗散型材料，其性能要求應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.1條的規(guī)定。

3活動(dòng)地板及其配件的材質(zhì)和技術(shù)性能指標(biāo)應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《防靜電活動(dòng)地板通用規(guī)范》SJ/T10796的有關(guān)規(guī)定。

4活動(dòng)地板支撐的底部宜設(shè)絕緣襯墊。接地連接導(dǎo)線(接地支線)應(yīng)采用截面積不小于1.5mm2的多股塑銅線。

5室內(nèi)接地干線在活動(dòng)地板下敷設(shè)時(shí)，應(yīng)與地面絕緣。

4.1.4樹(shù)脂涂層自流平地面應(yīng)符合下列規(guī)定：

1樹(shù)脂涂層自流平地面結(jié)構(gòu)應(yīng)由基礎(chǔ)地坪、底涂層、找平層、導(dǎo)電層和面層組成。樹(shù)脂涂層自流平地面厚度應(yīng)為底涂層、找平層、導(dǎo)電層和面層厚度的總和，樹(shù)脂涂層自流平地面厚度不應(yīng)小于2mm。

2樹(shù)脂涂層自流平地面結(jié)構(gòu)應(yīng)符合下列規(guī)定：

(1)基礎(chǔ)地坪、底涂層、導(dǎo)電層應(yīng)符合本規(guī)范第4.1.2條第3款的規(guī)定;

(2)找平層應(yīng)符合補(bǔ)充底涂的封底、粘結(jié)橋、緩沖找平的要求;

(3)面層應(yīng)采用符合導(dǎo)靜電或靜電耗散性能的樹(shù)脂面層涂料，厚度不宜小于0.8mm。

3導(dǎo)電層接地金屬箔帶網(wǎng)格要求應(yīng)符合本規(guī)范第4.1.2條第4款的規(guī)定。

4樹(shù)脂涂層自流平地面各層結(jié)構(gòu)的凝膠材料應(yīng)為同一性能的樹(shù)脂涂料，涂料的耐磨性、附著強(qiáng)度和涂膜硬度尚應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《防靜電地坪涂料通用規(guī)范》SJ/T11294的有關(guān)規(guī)定。

4.1.5水磨石地面應(yīng)符合下列規(guī)定：

1水磨石地面應(yīng)由防靜電水磨石面層、導(dǎo)靜電泄放層和絕緣隔離層組成。

2防靜電水磨石地面面層的厚度宜為12mm～18mm。面層的石粒應(yīng)采用粒徑4mm～10mm的大理石、白云石或其他石料。拌和時(shí)不得混入金屬雜質(zhì)。面層的水泥拌和料宜摻加一定比例的導(dǎo)電料，水泥強(qiáng)度等級(jí)不應(yīng)小于32.5。水泥和石粒的體積比宜采用1：1.5～1：2.5。

3水磨石地面的導(dǎo)靜電泄放層應(yīng)采用

的鋼筋網(wǎng)，網(wǎng)格的間距宜為2m×2m，并應(yīng)在網(wǎng)格交叉點(diǎn)陰角處焊接。網(wǎng)格的分布應(yīng)與水磨石面層的分格條位置錯(cuò)開(kāi)，并應(yīng)與防靜電接地系統(tǒng)連接。

4水磨石地面的底涂絕緣隔離層宜采用環(huán)氧樹(shù)脂涂料底漆滿涂?jī)杀?，厚度不宜小?.1mm。

5水磨石面層磨光后可采用防靜電液體地板蠟罩面。

4.1.6移動(dòng)式地墊應(yīng)符合下列規(guī)定：

1移動(dòng)式地墊可選用防靜電塑膠地墊和防靜電地毯。

2防靜電塑膠地墊可為三層結(jié)構(gòu)，底層應(yīng)為導(dǎo)電橡膠材料，中間是布，面層應(yīng)為靜電耗散型塑膠材料。防靜電塑膠地墊下應(yīng)敷設(shè)接地金屬網(wǎng)，并應(yīng)可靠接地。防靜電工作區(qū)內(nèi)防靜電塑膠地墊面層應(yīng)選用長(zhǎng)效型防靜電材料。

3防靜電地毯宜為三層結(jié)構(gòu)，底層應(yīng)為靜電耗散型基材，中間應(yīng)為導(dǎo)電膠，上層應(yīng)為由導(dǎo)電纖維編織或植絨的靜電耗散型材料。防靜電地毯下應(yīng)敷設(shè)接地金屬網(wǎng)，并應(yīng)可靠接地。

4.2頂棚和墻面設(shè)計(jì)

4.2.1頂棚和墻、柱面裝飾有導(dǎo)電層要求時(shí)，應(yīng)制訂合理的導(dǎo)電層方案，并應(yīng)采用十字形構(gòu)造銅箔或設(shè)置多點(diǎn)間接接地的接點(diǎn);當(dāng)頂棚和墻、柱面裝飾設(shè)置基層骨架時(shí)應(yīng)選用金屬材料，金屬骨架應(yīng)接地。接地連接點(diǎn)的設(shè)置每個(gè)房間不應(yīng)少于4處，相鄰連接點(diǎn)之間距離不應(yīng)大于18m。

4.2.2頂棚和墻、柱面裝飾的罩面板應(yīng)選用導(dǎo)靜電型、靜電耗散型材料，其性能要求應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.1條的規(guī)定。

4.2.3一級(jí)防靜電工作區(qū)的墻、柱面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)電層;二級(jí)防靜電工作區(qū)的墻、柱面不設(shè)置導(dǎo)電層時(shí)，應(yīng)涂刷防靜電涂層或裝飾靜電耗散層，其性能應(yīng)符合靜電耗散材料的指標(biāo)要求。

4.2.4空氣潔凈度5級(jí)以上潔凈環(huán)境或嚴(yán)格限制靜電吸附場(chǎng)所的頂棚和墻、柱罩面層的靜電耗散指標(biāo)，應(yīng)根據(jù)工藝要求和試驗(yàn)確定。使用導(dǎo)靜電無(wú)機(jī)板材時(shí)，表面不應(yīng)另覆涂層;表層使用金屬面板時(shí)，應(yīng)具有靜電耗散性能的防靜電面層。

4.2.5一般抹灰墻面或使用水性涂料、天然或人造石材作為表層時(shí)，應(yīng)涂刷具有靜電耗散性能的涂層或做其他防靜電處理;當(dāng)場(chǎng)所的環(huán)境濕度能穩(wěn)定保持在45%～65%時(shí)，可不做防靜電處理。

4.3門窗和其他裝修設(shè)計(jì)

4.3.1防靜電工作區(qū)的門窗設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1一、二級(jí)防靜電工作區(qū)應(yīng)選用靜電耗散材料制作門或采用靜電耗散材料貼面。三級(jí)防靜電工作區(qū)可選用低起電材料。

2金屬門窗表面應(yīng)涂刷具有靜電耗散性能的涂層，并應(yīng)接地。選用靜電耗散材料貼面的門及窗的外框應(yīng)有導(dǎo)靜電泄放的接地連接。

3二級(jí)防靜電工作區(qū)的建筑外層有采光窗時(shí)，應(yīng)設(shè)計(jì)為雙層，其內(nèi)層窗應(yīng)符合本條第1、2款的規(guī)定。

4門窗與墻體周邊應(yīng)選用具有靜電耗散性能的彈性密封材料填嵌。

5一、二級(jí)防靜電工作區(qū)室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時(shí)，其內(nèi)表面應(yīng)粘貼具有靜電耗散性能的透明薄膜，或采用透明的防靜電塑料板和具有防靜電性能的玻璃板。

4.3.2防靜電工作區(qū)的其他裝修設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1各類裝修材料應(yīng)具有表面靜電耗散性能。嚴(yán)禁使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣材料。不宜使用強(qiáng)吸濕性材料。

2各類裝修設(shè)計(jì)的飾面應(yīng)平整簡(jiǎn)潔，不宜過(guò)于復(fù)雜。

5防靜電工作區(qū)電氣設(shè)計(jì)

5.0.1防靜電工作區(qū)中供電電源質(zhì)量分級(jí)應(yīng)按工藝要求執(zhí)行。

5.0.2防靜電工作區(qū)中電子設(shè)備宜由變電所或低壓總配電間的專用回路供電，各種專用電源設(shè)備應(yīng)靠近由其供電的電子設(shè)備。

5.0.3防靜電工作區(qū)供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)宜根據(jù)供電電網(wǎng)的電源質(zhì)量，以及系統(tǒng)內(nèi)可能產(chǎn)生的瞬變干擾和脈沖干擾，采取相應(yīng)抑制諧波干擾的措施。

5.0.4防靜電工作區(qū)電源進(jìn)線浪涌保護(hù)器的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物電子信息系統(tǒng)防雷技術(shù)規(guī)范》GB50343的有關(guān)規(guī)定。

5.0.5低壓配電系統(tǒng)中的單相負(fù)荷應(yīng)均勻分配在三相線路上，應(yīng)使三相負(fù)荷不平衡度小于20%，并應(yīng)根據(jù)負(fù)荷實(shí)際運(yùn)行情況可能產(chǎn)生的諧波電流值，選擇放大中性線的導(dǎo)線截面積。

5.0.6防靜電工作區(qū)中電子設(shè)備和設(shè)施的電源線、接地干線、信號(hào)線和通訊線應(yīng)分別敷設(shè)。電源線宜遠(yuǎn)離信號(hào)線和通訊線，當(dāng)不可避免時(shí)，應(yīng)采取相應(yīng)的屏蔽措施。電子設(shè)備和設(shè)施的工作電源插座和普通電器插座應(yīng)分別設(shè)置，并應(yīng)有明顯區(qū)別標(biāo)志。

5.0.7防靜電工作區(qū)中電氣設(shè)備外殼應(yīng)可靠接地，電氣設(shè)備對(duì)電磁兼容性的要求尚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電磁兼容試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù)靜電放電抗擾度試驗(yàn)》GB/T17626.2的有關(guān)規(guī)定。

6防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)

6.0.1防靜電工作區(qū)應(yīng)設(shè)置防靜電接地系統(tǒng)。

6.0.2防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)應(yīng)由接地體、接地干線、接地支線、接地端子板、接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)組成。

6.0.3防靜電工作區(qū)中由TN交流配電系統(tǒng)供電時(shí)應(yīng)采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)的接地方式。

6.0.4防靜電工作區(qū)中應(yīng)含有不同功能要求的接地系統(tǒng)，各接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)都應(yīng)符合等電位連接的要求，不同接地系統(tǒng)在接入等電位端子前不應(yīng)混接。

6.0.5防靜電接地宜選擇聯(lián)合接地方式。當(dāng)選擇單獨(dú)接地方式時(shí)，接地電阻值不應(yīng)大于10Ω，并應(yīng)與防雷接地裝置保持20m以上的間距。

6.0.6防靜電工作區(qū)中整個(gè)接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)以防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)為基礎(chǔ)。防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50057和《建筑物電子信息系統(tǒng)防雷技術(shù)規(guī)范》GB50343的有關(guān)規(guī)定，特定行業(yè)、特定地面及設(shè)施的防雷接地尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

6.0.7防靜電工作區(qū)頂棚、墻面、地面的防靜電接地、人體防靜電接地、操作裝置和儀器的防靜電接地，應(yīng)分別選擇適當(dāng)位置設(shè)置接地連接裝置。接地連接裝置可使用易于裝拆的各種夾式連接器，但應(yīng)保證電氣連接可靠。在防靜電工作區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)置防靜電接地端子板、接地網(wǎng)格，或截面積不小于100mm2的閉合接地銅排環(huán)。防靜電接地引線應(yīng)從防靜電接地端子板、接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)上就近接地，接地引線應(yīng)使用多股銅線，導(dǎo)線截面積不應(yīng)小于1.5mm2。

6.0.8防靜電接地系統(tǒng)在接入大地前應(yīng)設(shè)置總等電位接地端子板、樓層等電位接地端子板、防靜電接地端子板。從總等電位接地端子板或樓層等電位接地端子板上引出的接地主干線，其截面積不應(yīng)小于95mm2，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜或采用絕緣導(dǎo)線穿金屬管敷設(shè)。接地主干線引到防靜電工作區(qū)時(shí)應(yīng)與設(shè)置在該區(qū)域內(nèi)的防靜電接地端子板連接。防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值不應(yīng)大于0.1Ω。

6.0.9防靜電接地主干電纜應(yīng)避免與非屏蔽電源電纜長(zhǎng)距離平行敷設(shè)，并應(yīng)遠(yuǎn)離防雷引下線。防靜電接地主干電纜的屏蔽金屬層應(yīng)兩端接地。

6.0.10防靜電接地連接應(yīng)采用焊接或用連接器具連接的方式，連接器具應(yīng)能與接地對(duì)象可靠地連接。當(dāng)接地對(duì)象采取間接接地時(shí)，應(yīng)在接地對(duì)象上裝設(shè)緊密結(jié)合的可靠的金屬導(dǎo)體，并應(yīng)在金屬導(dǎo)體上引出接地導(dǎo)線。金屬導(dǎo)體的緊密結(jié)合面積不應(yīng)小于20cm2。

6.0.11防靜電工作區(qū)中不得有對(duì)地絕緣的孤立導(dǎo)體，所有金屬結(jié)構(gòu)件都應(yīng)可靠接地。當(dāng)兩個(gè)以上的金屬結(jié)構(gòu)件相互絕緣時(shí)，應(yīng)將各自的金屬結(jié)構(gòu)件進(jìn)行接地，或在其相互之間連接跨接線，并應(yīng)接地。

6.0.12易燃、易爆特定環(huán)境的接地尚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。

7防靜電工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)和工業(yè)管道設(shè)計(jì)

7.0.1防靜電工作區(qū)宜設(shè)置空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

7.0.2當(dāng)防靜電工作區(qū)和其他房間空調(diào)參數(shù)不同時(shí)，宜分別設(shè)置空調(diào)系統(tǒng)。

7.0.3防靜電工作區(qū)的溫度及波動(dòng)范圍應(yīng)滿足工藝要求，宜為18℃～28℃。

7.0.4防靜電工作區(qū)的相對(duì)濕度及波動(dòng)范圍應(yīng)滿足工藝要求，宜為45%～65%。

7.0.5防靜電工作區(qū)的氣流組織形式應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級(jí)和生產(chǎn)工藝特點(diǎn)的不同要求確定。

7.0.6防靜電工作區(qū)中空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的送、回風(fēng)口和風(fēng)管以及各種工業(yè)管道的輸出、輸入口裝置，應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作，或表面涂刷防靜電涂層，也可按工藝要求進(jìn)行防靜電處理。送、回風(fēng)口和各種輸出、輸入口裝置與配管系統(tǒng)之間應(yīng)有可靠的電氣連接，并應(yīng)接地。

7.0.7防靜電工作區(qū)中空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的風(fēng)管和各種工業(yè)管道均應(yīng)采取接地措施，接地連接點(diǎn)之間的距離不應(yīng)大于30m，接地連接點(diǎn)的構(gòu)造應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。采用普通的法蘭或螺栓連接，且中間存在非導(dǎo)體隔離時(shí)，應(yīng)采取跨接措施。

7.0.8防靜電工作區(qū)的配管系統(tǒng)中，使用部分絕緣性材質(zhì)的配管時(shí)，應(yīng)在配管表面安裝緊密結(jié)合的金屬網(wǎng)，并應(yīng)將金屬網(wǎng)接地。使用導(dǎo)電性非金屬軟管時(shí)，應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的接觸面積不小于20cm2的金屬導(dǎo)體，并應(yīng)用接地引線與金屬導(dǎo)體可靠連接接地。

7.0.9防靜電工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)配置離子化靜電消除器時(shí)，應(yīng)符合本規(guī)范第9章的有關(guān)規(guī)定。

7.0.10防靜電工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的設(shè)備對(duì)電磁兼容性的要求尚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電磁兼容試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù)靜電放電抗擾度試驗(yàn)》GB/T17626.2的有關(guān)規(guī)定。

7.0.11易燃、易爆環(huán)境以及各種流動(dòng)液體或氣體、粉體管道安裝的防靜電措施尚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。

8防靜電安全工作臺(tái)的設(shè)計(jì)選擇

8.0.1防靜電安全工作臺(tái)可用于制造和應(yīng)用靜電敏感元器件的場(chǎng)所。靜電敏感元器件、組件及設(shè)備的操作，應(yīng)在防靜電安全工作臺(tái)上進(jìn)行。

一、二級(jí)防靜電工作區(qū)及有明確防靜電要求的臺(tái)式精密電子設(shè)備的三級(jí)防靜電工作區(qū)，應(yīng)根據(jù)工藝要求配置防靜電安全工作臺(tái)。

防靜電分級(jí)為一級(jí)的微電子制造和測(cè)試場(chǎng)所，防靜電安全工作臺(tái)應(yīng)使用硬質(zhì)臺(tái)墊及無(wú)表面涂覆的難氧化金屬臺(tái)架;除微電子電路制造和測(cè)試以外的電子產(chǎn)品或整機(jī)產(chǎn)品的生產(chǎn)或調(diào)試場(chǎng)所的防靜電安全工作臺(tái)，其臺(tái)面可采用軟質(zhì)臺(tái)墊，臺(tái)架可采用木質(zhì)或金屬。

8.0.2防靜電安全工作臺(tái)應(yīng)由工作臺(tái)、防靜電臺(tái)面或臺(tái)墊、腕帶連接裝置、限流電阻和接地引線組成。

8.0.3防靜電安全工作臺(tái)按臺(tái)面基材可分為普通型和專用型。專用型防靜電安全工作臺(tái)宜用于潔凈室工作站。防靜電安全工作臺(tái)臺(tái)面的防靜電性能指標(biāo)應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.1條的規(guī)定。

8.0.4硬質(zhì)和軟質(zhì)防靜電臺(tái)墊，其表面電阻和體積電阻范圍應(yīng)為2.5×104Ω～1.0×109Ω。

8.0.5防靜電安全工作臺(tái)應(yīng)設(shè)置腕帶連接裝置，防靜電腕帶應(yīng)便于人體佩戴，并應(yīng)接地。腕帶連接裝置應(yīng)布置在工位的左、右兩側(cè)。

8.0.6防靜電安全工作臺(tái)應(yīng)接地，腕帶連接裝置的下端應(yīng)采用截面積不小于1.5mm2多股塑銅線與防靜電接地系統(tǒng)連接。多臺(tái)防靜電安全工作臺(tái)的接地連線不得串聯(lián)連接。

9離子化靜電消除器的設(shè)計(jì)選擇

9.0.1一、二級(jí)防靜電工作區(qū)配置的設(shè)備機(jī)臺(tái)局部，以及防靜電安全工作臺(tái)等對(duì)靜電敏感元器件有明確防護(hù)要求的場(chǎng)所，應(yīng)選用離子化靜電消除器。

9.0.2離子化靜電消除器的設(shè)計(jì)選擇應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)條件和消除靜電的控制目標(biāo)，并結(jié)合靜電消除器的消電效能和綜合性能確定。

9.0.3離子化靜電消除器的離子平衡度、消電時(shí)間、臭氧發(fā)生量、噪聲等技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

9.0.4離子化靜電消除器的設(shè)計(jì)選擇應(yīng)符合下列規(guī)定：

1氣流組織形式為單向流的潔凈空調(diào)系統(tǒng)，宜選擇脈沖式高壓靜電消除器。

2易燃、易爆環(huán)境應(yīng)選用自感應(yīng)式靜電消除器、高頻高壓型靜電消除器，以及具有防爆通風(fēng)型結(jié)構(gòu)的離子化靜電消除器。

3空氣潔凈度等級(jí)5級(jí)以上的潔凈環(huán)境，不宜使用有風(fēng)扇的離子化靜電消除器，其他潔凈環(huán)境的風(fēng)扇式離子化靜電消除器應(yīng)具有自清掃功能。

4選用同位素靜電消除器時(shí)，應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電離輻射防護(hù)與輻射源安全基本標(biāo)準(zhǔn)》GB18871的有關(guān)規(guī)定進(jìn)行防護(hù)設(shè)計(jì)，并應(yīng)符合對(duì)射線屏蔽、人體防護(hù)的要求。

5選用高頻高壓型靜電消除器時(shí)，電氣間隙和基本絕緣試驗(yàn)電壓等限值應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《測(cè)量、控制和實(shí)驗(yàn)室用電氣設(shè)備的安全要求第一部分：通用要求》GB4793.1的有關(guān)規(guī)定，場(chǎng)感應(yīng)電流和磁場(chǎng)強(qiáng)度限值應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)、科學(xué)和醫(yī)療(ISM)射頻設(shè)備電磁騷擾特性限值和測(cè)量方法》GB4824的有關(guān)規(guī)定。

6選用離子化靜電消除器時(shí)，臭氧發(fā)生量的容許濃度值應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)工業(yè)場(chǎng)所有害因素職業(yè)接觸限值的規(guī)定。

9.0.5離子化靜電消除器外殼應(yīng)采用金屬材質(zhì)，其外殼及金屬支承體應(yīng)有可靠的保護(hù)接地。

附錄A防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)適用場(chǎng)所